Uvod proizvoda
Svojstva materijala
Parametar | Karakterističan | ASTM metoda upravljanja |
Tip / dopant | P, Boron N, fosfor N, Antimon N, Arsenić | F42 |
Orijentacije | <100>, <111>Skice van orijentacije po specifikacijama kupca | F26 |
Sadržaj kisika | 1019 PPMA Prilagođene tolerancije po specifikaciji kupca | F121 |
Sadržaj ugljika | < 0.6 ppmA | F123 |
Otpornost Ranges - P, Boron- N, fosforal, antimont, arsen | 0 001 - 50 Ohm cm | F84 |
Mehanička svojstva
Parametar | Premjestiti | Monitor / test a | Test | ASTM metoda |
Prečnik | 2 0 0 ± 0,2 mm | 2 0 0 ± 0,2 mm | 2 0 0 ± 0,5 mm | F613 |
Debljina | 725 ± 20 μm (standardno) | 725 ± 25 μm (standardno) 450 ± 25 μm 625 ± 25 μm 1000 ± 25 μm 1300 ± 25 μm 1500 ± 25 μm | 725 ± 50 μm (standard) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Luk | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Omotati | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Rubne zaokruživanje | Polu-std | F928 | ||
Obilježavanje | Samo primarni polu-stan, polu-std stanovi Jeidi stan, zarez | F26, F671 | ||
Kvalitet površine
Parametar | Premjestiti | Monitor / test a | Test | ASTM metoda |
Prednji bočni kriteriji | ||||
Površinsko stanje | Hemijska mehanička polirana | Hemijska mehanička polirana | Hemijska mehanička polirana | F523 |
Hrapavost površine | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Izmaglica, jame, kore narandže | Nijedan | Nijedan | Nijedan | F523 |
Tragovi pile, striacije | Nijedan | Nijedan | Nijedan | F523 |
Zadnji bočni kriteriji | ||||
Pukotine, krajevi, testere, mrlje | Nijedan | Nijedan | Nijedan | F523 |
Površinsko stanje | Kaustičan jetcred | F523 | ||
Opis proizvoda
Savršeno za mikrofluidičke aplikacije. Za mikroelektronika ili MEMS aplikacije kontaktirajte nas za detaljne specifikacije.
Linija proizvoda za mikroelektroniku uključuje i jedno bočno polirano (SSP) i dvostruke bočne polirane (DSP) podloge za rezanje. Dvostruke bočne polirane vafle obično su potrebne u poluvodiču, MEMS-u i drugim aplikacijama u kojima su potrebne vafli sa čvrsto kontroliranim karakteristikama ravnosti. Oni su potrebni i za projekte izrade dvostrukih bočnih i proizvodnih proizvoda.
Velika zaliha dvostrukih bočnih poliranih rezača u svim promjerima vafla u rasponu od 100 mm do 300 mm. Ako vaša specifikacija nije dostupna u našem inventaru, uspostavili smo dugoročne odnose s brojnim dobavljačima koji su sposobni za izradu proizvodnje vafla kako bi odgovarali bilo koje jedinstvene specifikacije. Dvostruke bočne polirane vafle dostupne su u silikonu, staklu i drugim materijalima koji se obično koriste u industriji poluvodiča.
Prilagođene cijene i poliranje također su dostupni u skladu sa vašim zahtjevima. Slobodno nas kontaktirajte.
Karakteristike proizvoda
· 8 "P / N tipa, polirani silikonski vafli (25 kom)
· Orijentacija: 200
· Otpornost: 0. 1 - 40 Ohm • cm (može varirati od serije do serije)
· Debljina: 725+ / -20 Hm
· Prime / Monitor / Test ocjena
Popularni tagovi: 8 inčni (200 mm) rezief, Kina, dobavljači, proizvođači, tvornica, izrađeni u Kini
