U 2019. godini, M12 (210mm x 210mm) p-Type mono wafers (silicon ingot promjera 295mm) je prao. Očekuje se da će format M2 (156,75mm x 156,75mm) biti smještan po M12 i M6.
1 Svojstva materijala
imovina | Specifikacija | Metoda inspekcije |
Metoda rasta | Cz | |
Kristalnost | Monocrystalline
| Preferencijalni etch tehnike（ASTM F47-88） |
Tip provodljivosti | P-tip | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant
| Bor, Galijum
| - |
Koncentracija kisika[Oi] | ≦8E+17 na/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Koncentracija ugljika[Cs] | ≦5E+16 na/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch pit density (density dislocation) | ≦500 cm-3 | Preferencijalni etch tehnike（ASTM F47-88） |
Površinska orijentacija | <100>±3° | Metoda difrakcije rendgena (ASTM F26-1987) |
Orijentacija pseudo kvadratne strane | <010>,<001>±3° | Metoda difrakcije rendgena (ASTM F26-1987) |
2 Električna svojstva
imovina | Specifikacija | Metoda inspekcije |
Otpornost | 0,5-1,5 Ωcm | Sistem za inspekciju wafera |
MCLT (vijek života manjinskog nosača) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (sa razinom injekcije: 1E15 Cm-3) |
3 Geometrija
imovina | Specifikacija | Metoda inspekcije |
Geometrija | Full square | |
Dužina wafer side | 210±0,25 mm | sistem inspekcije wafera |
Promjer wafera | φ295±0,25 mm | sistem inspekcije wafera |
Ugao između susjednih strana | 90° ± 0.2° | sistem inspekcije wafera |
Debljina | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | sistem inspekcije wafera |
TTV (Total thickness variation) | ≤27 μm | sistem inspekcije wafera |
4 Svojstva površine
imovina | Specifikacija | Metoda inspekcije |
Metoda reznja | DW | -- |
Kvalitet površine | kao izrezana i očišćena, nema vidljive kontaminacije, (ulje ili mast, otisci prstiju, mrlje od sapuna, mrlje od mulja, epoksi/mrlje ljepila nisu dozvoljene) | sistem inspekcije wafera |
Tragovi pile / koraci | ≤ 15μm | sistem inspekcije wafera |
Luk | ≤ 40 μm | sistem inspekcije wafera |
Warp | ≤ 40 μm | sistem inspekcije wafera |
Čip | dubina ≤0.3mm i dužina ≤ 0.5mm Max 2/pcs; nema V-čipa | Gole oči ili sistem inspekcije wafera |
Mikro pukotine / rupe | Nije dozvoljeno | sistem inspekcije wafera |
Popularni tagovi: p tip m12 monocrystalline solarni wafer, Kina, dobavljači, proizvođači, tvornica, napravljena u Kini
